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微调阀GW系列
阀体:铝合金,铜合金
密封圈:氟橡胶
波纹管:不锈钢
真空内部材料:不锈钢,无氧铜
通径:0.8;1.4
法兰:10KF
详细介绍
高真空微调
进气阀能精确的控制每单位时间内气体的流量泄露到真空腔室。此阀的截流孔变化是通过微调螺纹机械带动阀针的上下位移来达到,从而精密的控制了阀门的气体泄露量。本阀的动密封采用不锈钢波纹管密封(1.4除外),保证了阀门动密封的可靠性。为了防止粉尘的进入,在阀的气流入口,装有过滤气片,这样大大提高了阀门的使用寿命。本阀针的上下位移均有限位装置,保证了阀针,阀座及波纹管的寿命。阀们的适用介质为空气及非腐蚀性气体。为了让用户使用方便,本系列微调阀可带有或不带有截止阀,从而更进一步提高了针阀的使用寿命及便于用户操作。本阀若有变动不在另行通知,但不改变使用目的。
性能指标:
•
可变漏率范围:1000~1×10
-5
CM·S
-1
•
此阀可满足设备所需的全量程的泄漏调节
•
对漏率的可变范围进行无级控制
•
漏率:<1.0×10
-7
Pa·L·S
-1
•
良好的阀位重复性
•
烘烤温度:120℃
•
工作温度:80℃
•
精确的微米比例尺,可对特定气体的流量的零位设置进行重复调节。
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