电气动高真空插板阀是真空系列中重要元件之一。可作高真空管路中启闭机构,具有结构紧凑,性能可靠,流导大等一系列优点。本阀依靠压缩空气推动双向汽缸使阀板做摆动运动。适用介质为空气及非腐蚀性气体。适用压力从1×10-6帕至1×105帕
性能指标:
•通径:63ISO-F;100ISO-F;160ISO-F;250ISO-F •漏率:<1.3×10-7Pa·L·S-1
•寿 命:50,000次 •在阀板上下方向都能反顶大气压密封(规格至160ISO-F)
•本阀门带有位置指示器,装有位置信号发生器 •安装位置:任意 •开阀压差:≤3000Pa